任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉

一、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉应用：该款具有高电离度、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等特点，微波等离子体在材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及CH4转化制氢、长余辉发光材料、陶瓷烧结、碳纳米管修饰[3]、纳米粉体合成、处理水污染等领域有广泛应用。

二、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉产品特点：

1. 垂直反应器的设计可使等离子密度高；对称的微波发生装置，使产生的等离子场环境更均匀。
    2. 微波等离子体气相沉积炉的谐振腔内没有内部电极,可以避免电极放电所产生的污染,而且,它的工作气压范围比较宽,所产生等离子体密度高、区域大,稳定度高,且不与真空器壁接触,从而避免了器壁对薄膜的污染。

三、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉技术参数：

型号/model

WBMW-DLZ3

可加热材料

非易燃易爆的任何材料

微波频率

2.45GHZ±50MHz

加热方式

纯微波加热

射频功率/KW

3  (功率可调)

工作温度/℃

1200

长期工作温度/℃

≤1100

温度测试元件

微波场专用传感器/红外测温可选

控温精度/℃

±2（微波场专用传感器）

石英管尺寸(外径/内经X长度)/mm

φ102/φ92x1000

真空系统配置（可选）

简单机械泵抽真空和不锈钢法兰；

10-1Pa真空机械泵及真空计；

10-2Pa真空机械泵、扩散泵及真空计；

10-3Pa真空机械泵、分子泵及真空计；

升温速率(标配)

0～1000℃/min可任意设定，可编程、分段加热

外型尺寸(长x宽x高)/mm

1000´750´1830

微波泄漏量/  mw/cm2

≤0.4

提供相关配件

防护 手套×1、中文说明书×1

保质期

整机免费保修1年